Mesa Single Crystal Sensor Head

Miêu tả
Được thiết kế để giám sát màng mỏng đáng tin cậy, giá cả phải chăng, Mesa là một thiết bị có khả năng giám sát các quá trình lên đến 500 ° C (ví dụ: ALD, CVD, v.v.). Kỹ thuật tối giản là đỉnh cao của nhiều thế hệ và lặp đi lặp lại của thiết kế đầu.

Mesa lý tưởng cho các nhà sản xuất yêu cầu cảm biến giám sát màng mỏng chuyển tiếp thẳng. Khi kết hợp với màn hình Colnatec Eon-LT hoặc bộ điều khiển Eon-ID, Mesa cung cấp độ chính xác và hiệu chỉnh theo thời gian thực lên đến 0,001 Hz. Đầu được tối ưu hóa để sử dụng với các tinh thể Phillip Technologies RC có khả năng miễn nhiễm độc nhất với các gai bức xạ và ứng suất phim do hở cửa trập, ngưng tụ phim và bức xạ nguồn.

Với tính năng kiểm soát thời gian thực các điều kiện của quá trình và / hoặc lò phản ứng, Mesa giảm thiểu việc lấy mẫu đo lường ngoài hiện trường và các lần chạy bị loại bỏ. Mesa cung cấp độ chính xác cao hơn trong việc lắng đọng màng, dẫn đến tăng năng suất quy trình và cải thiện chất lượng phim. Đánh giá nhiệt độ cao của cảm biến làm cho nó lý tưởng cho các hệ thống ALD.

Đặc trưng

• Được thiết kế cho tinh thể đường kính 14 mm, hoạt động lên đến 10 MHz

• Có sẵn với nguồn cấp dữ liệu bu lông 2,75 Conflat, KF-40 hoặc 1 ”dưới dạng cấu hình kho. Chiều dài 30 ”(75 mm). Kích thước tùy chỉnh, mặt bích và uốn cong có sẵn. Cũng có sẵn với các phụ kiện nén để cho phép điều chỉnh độ dài vô hạn.

• Có sẵn với các hướng đầu Song song hoặc Vuông góc. Xem ảnh chẳng hạn.

• Kết nối tiêu chuẩn bên không khí SMA để đo tinh thể. Được sử dụng lý tưởng với bộ điều khiển Eon-ID và màn hình Eon-LT, nhưng tương thích với các bộ điều khiển và màn hình độ dày màng khác

• Bao gồm (1) cáp BNC-BNC 6 Chân.