Phoenix High Temperature Film Thickness Sensor PC-Based System

Miêu tả
Phoenix không chỉ là cảm biến màng mỏng tiên tiến thứ hai trên thị trường mà còn có giá cả phải chăng nhất. Là nhà sản xuất cảm biến màng mỏng tiên tiến nhất trên thị trường (cung cấp cùng một tỷ lệ khả năng chi trả trên giá trị), những người tại Colnatec cảm thấy chúng tôi đang ở vị trí hoàn hảo để đưa ra tuyên bố táo bạo như vậy.

Với thiết bị điện tử giám sát và phần mềm dễ sử dụng hoạt động cùng với PC của người dùng, Phoenix System cung cấp giải pháp đơn giản nhưng toàn diện có khả năng thực hiện các hoạt động đo màng mỏng ngay khi xuất xưởng. Như một lợi ích bổ sung, Hệ thống Phoenix sở hữu công nghệ đo nhiệt độ độc quyền, chuyên biệt cao giúp nâng độ chính xác của phép đo độ dày màng lên mức chính xác đáng kinh ngạc.

Trong nhiều ứng dụng nhiệt độ cao, cảm biến sẽ thường xuyên bị lỗi do xếp hạng nhiệt độ thấp của chúng. Giống như Hệ thống Tempe, Hệ thống Phoenix không chỉ có khả năng đo nhiệt độ mà còn chịu được nhiệt độ cao hơn bất kỳ hệ thống màng mỏng nào khác trên thị trường. Điều này cho phép giám sát các quá trình lên đến 500 ° C (ví dụ: ALD, CVD, v.v.).

Mặc dù hệ thống có khả năng chấp nhận bất kỳ tinh thể đường kính 14 mm nào lên đến 10 MHz, nhưng nó được tối ưu hóa cho Tinh thể RC do Colnatec sản xuất, loại tinh thể này miễn nhiễm độc nhất với các gai bức xạ và ứng suất phim do hở cửa trập, ngưng tụ phim và bức xạ nguồn.

Là một phần của hệ thống Phoenix, Eon-LT là thiết bị theo dõi độ dày màng với khả năng điều khiển đóng gói hệ thống đo độ lắng đọng có độ phân giải cực cao vào một vỏ bọc nhỏ gọn tương thích với PC.

Việc kết hợp đầu cảm biến Phoenix với bộ điều khiển Eon-LT và tinh thể RC thể hiện một bước nhảy vọt lượng tử so với công nghệ đo màng mỏng hiện có.

Đặc trưng

Màn hình tích hợp tùy chọn để phù hợp với nhiều cài đặt và ứng dụng hơn
Kết nối bao gồm ethernet, usb và WiFi
Giao diện mới, dễ sử dụng
Cảm biến có sẵn với các độ dài khác nhau và với các mặt bích khác nhau để linh hoạt
Các kênh kép cho khả năng mở rộng
Công nghệ tiên tiến giúp tăng độ tin cậy và độ bền trong môi trường công nghiệp
Kết nối bên không khí SMA tiêu chuẩn để đo tinh thể
Ổ đĩa tinh thể 4-10 MHz, 1-200 Ω, bất kỳ loại nào (Quartz, SuperQuartz)