Quartz Crystals,Silver, 6MHz (TAN06IS)
Mô tả: Cảm biến thạch anh để sử dụng trong các bộ điều khiển và giám sát lắng đọng màng mỏng, bao gồm cả Inficon,
Dụng cụ Maxtek, Sigma và Sycon.
Đặc điểm kỹ thuật vật lý:
1) Chất liệu: Đơn tinh thể Silicon Dioxide tinh khiết, Thạch anh cấp điện tử với Bechmann
Hình học được tối ưu hóa và tăng cường bẫy năng lượng của chế độ cơ bản.
2) Kích thước: 0,550 ”+. 000 / -. 002 ”OD
3) Đường viền: lồi plano
4) Kết thúc: Độ nhám 7 microns rms plano và các bên đường viền
5) Khiếm khuyết: Không có phoi, vết xước hoặc vết khắc trong khẩu độ rõ ràng có đường kính 13,95 mm
6) Điện cực: bạc có hoa văn “Inficon” với lớp trung gian phản ứng Oxy để cải thiện
màng mỏng toàn vẹn.
Đặc điểm kỹ thuật điện:
1) Tần số cộng hưởng: 5,980-5,989 MHz, cộng hưởng chuỗi cơ bản
2) Điện trở: <15 Ohms, mạ
3) Điện trở tiếp xúc: <10 Ohms cạnh đến cạnh trên mặt mẫu
4) Chế độ giả: Anharmonic đầu tiên> 150 KHz trên cơ bản
Xuất hiện:
1) Không có điện cực bị lệch
2) Không có màu không đồng đều
3) Không có mẫu lệch tâm
4) Không có vết xước, trầy xước hoặc dấu khắc
5) Không có chip hoặc vết nứt